Принцип Абсолютной (Absolute) линейной шкалы (пример AT300, 500-S/H) AT500 Период (Интерполяция) Разрешение сигнала 3768мм (512) 7 36мм 58 88мм (512) 0 115

Принцип Абсолютной (Absolute) линейной шкалы (пример AT300, 500-S/H) AT500 Период (Интерполяция) Разрешение сигнала 3768мм (512) 7.36мм 58.88мм (512) 0.115мм 0.92мм (512) Примерно 1.8мкм 20мкм (400) 0.05мкм (4096) 0.005мкм Определение точности линейной шкалы Точность определения положения Точность линейной шкалы определяется путем сравнения позиционных значений, показанных на линейной шкале с соответствующими значениями, полученными на машине лазерного измерения длины с регулярным интервалом, с использованием системы проверки точности, как показано на рисунке ниже. Так как температура окружающей среды при проверке 20°С, точность шкалы применяется только при этой температуре окружающей среды. Проверка при другой температуре может проводиться в соответствии с внутренними стандартами. Счетчик машины лазерного измерения длины Компьютер Цифровой счетчик После подачи питания на линейную шкалу, производится считывание позиций с трех вспомогательных шкал емкостного типа (грубой (COA), средней (MED) и тонкой (FIN)) и с одной фотоэлектрической вспомогательной шкалы (оптической). Эти вспомогательные шкалы используют такую комбинацию шагов и так расположены друг относительно друга, что показания в какой-либо одной позиции формируют уникальный набор и позволяют микропроцессору вычислить позицию считывающей головки на шкале с разрешением 0.05мкм (0.005мкм). (1) Несбалансированное определение точности шкалы -максимальная погрешность минус минимальная погрешность Данный метод просто определяет разницу между максимальной и минимальной погрешностью с диаграммы точности, как показано ниже. Погрешность указывается в форме E = (а+ 3L) мкм, где L -эффективный диапазон измерения (мм), и а и в - факторы, указанные для каждой модели. Например, если конкретный тип шкалы имеет характеристику точности (3 + 3L/1000) мкм и диапазон эффективного измерения 1000мм, то E=6 мкм. Погрешность шкалы в любой точке относительно начала диапазона In 1 7')МНГ 11111 м 1111 Интерферометр Оптическая ось Источник лазерХ лазерного луча В ершина куба Крепление ) l Шкала р Подвижный стол г1 Вид системы Ошибка 0 Эффективный диапазон позиционирования Максимальная разница в погрешности шкалы Е (мкм) X Измеряемая точка (2) Сбалансированное определение точности шкалы -плюс/минус средняя погрешность Данный способ определяет максимальную погрешность относительно средней погрешности от диаграммы точности. Погрешность указывается в форме e = ±Е/2(мкм). Этот метод в основном используется в спецификациях модифицированных шкалах отдельного типа. Вид системы проверки точности Точность шкалы в каждой точке определяется в виде величины погрешности, которая рассчитывается по следующей формуле Погрешность= Значение, показанное на линейной шкале - соответствующее значение системы проверки лазером Схема, на которой погрешность выводится в каждой точке в рамках диапазона действительного позиционирования, называется диаграммой точности. Существует два способа, используемых для определения точности шкалы, несбалансированная и сбалансированная, описанные ниже. Ошибка 0 Средняя погрешность Эффективный диапазон позиционирования Максимальная погрешноть средней погрешности X Измеренная точка Линейная шкала определяет перемещения, основанные на делении постоянным шагом. Двухфазные сигналы синусоиды с тем же шагом, что и в градуировка, получаются путем детектирования градуировки. Интерполяции этих сигналов в электрической цепи позволяет считать значения меньшие, чем шаг градуировки, создавая импульсные сигналы, которые соответствуют нужному разрешению. Например, если шаг градуировки 20 мкм, интерполированные значения можно создавать с разрешением 1мкм. Точность этой обработки не безошибочна и называется точность интерполяции. Общие технические характеристики позиционной точности линейной шкалы зависит как от погрешности шага шкалы, так и от точности интерполяции. Mitutoyo 462