Корреляция изображений и двумерный кодировщик MICSYS Принцип измерения Когда объект с неровной поверхностью подвергается облучению лазерным лучом, отраженн

Корреляция изображений и двумерный кодировщик MICSYS Принцип измерения Когда объект с неровной поверхностью подвергается облучению лазерным лучом, отраженный когерентный свет, рассеивающийся с поверхности, создает видимую интерференцию в виде пятнистой структуры. По мере того, как объект движется в плоскости xy, под влиянием этого пятнистая структура также перемещается. Перемещение объекта можно рассчитать путем сравнения, через корреляцию изображений, изображений с пятнистой структурой, полученных до и после движения, и этот принцип используется в высокоточной системе измерения MICSYS. Датчик изображения Лазерный луч Отраженный T14f jlr свет W \пДу поверхность структура <ГНаправление движения (плоскость ХУ) Применение 1. Оценка платформ, используемых в производственном оборудовании и системах контроля Привод о А jm Измерение смещений под воздействием изменения температуры, влажности, колебаний напряжения и других факторов с 7 Платформа a) Оценка повторяемости позиции b) Оценка неподвижности и смещения показаний 3. Измерение незначительного смещения Нагрузка Конструкция (балка) Измерение смещений под воздействием изменения температуры и влажности, и других факторов, а также смещений, вызванных в ходе присоединения материала и др. a) Измерение незначительного смещения конструкции b) Измерение незначительного смещения детали Mitutoyo г 2. Высокоточное позиционирование е ,' еЦ. 1 Установка и удаление Привод /шг